真空钎焊炉真空系统的技术特点和原理
真空钎焊炉有采用分区式加热器布置,使加热区内温度均匀性一致的特点以及在真空氛围中钎焊的,可保持工件的清洁和光亮。真空系统主要由半导体冷板、真空室、泵系统和各控制阀及热交换器组成。其中泵系统由机械泵、维持泵、罗茨泵、扩散泵构成。阀门包括前级阀、旁路阀、维持泵阀和高阀组成，各阀门均为气动阀，由PLC控制气动阀进行控制。
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