真空炉包括真空淬火炉,真空回火炉,真空渗氮炉,真空渗碳炉,真空退火炉等等。其中真淬火炉又分为真空气淬炉和真空油淬炉。

真空炉的工作,首先要提到的就是真空泵。一般设备配备有机械泵,罗茨泵,扩散泵,离子泵。根据真空度不同,所配备的设备也有所区别。常规的真空热处理,只需要把真空度抽到10-1。所以设备只需要配备机械泵和罗茨泵。就足够可以完成。要求高的产品,需要将真空抽到更高的真空度,比如10-3或者10-4。这个时候就需要扩散泵或者分子泵才能来完成了。其真空炉的工作顺,第一步将真空炉内抽到真空状态。随后再加热至需要的温度进行保温,最终充入惰性气体,如氮气,氩气进行冷却。
真空炉生产的产品因为是在真空状态下进行生产的,与常规的热处理设备生产的产品具有表面干净,光洁,不容易被氧化。真空钎焊变形量小等特点。