光刻机:冷却激光光源和光学元件,防止热膨胀导致的光路偏移(如ASML的EUV光刻机)。
蚀刻/离子注入机:控制反应腔体温度,确保工艺均匀性。
2、高功率电子元件冷却
IGBT(绝缘栅双极晶体管):用于电动汽车动力系统,通过冷板降低模块温度,减少温度梯度。
CPU/GPU:辅助冷却高功率芯片,防止过热损坏。
3、医疗与实验室设备
便携式药品冷藏:利用半导体冷板的制冷功能,实现低温存储。
实验室仪器:如精密分析设备,需稳定温度环境以确保数据准确性。

4、航空航天与汽车电子
航空电子设备:在*端温度环境下保持设备正常运行。
汽车新能源:冷却电池管理系统或高功率电子驱动器。